爪型干式無油真空泵在泵腔內(nèi)具有若干組相互嚙合的爪型轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間及轉(zhuǎn)子與泵腔之間并不接觸，留有微小的間隙，不用任何潤滑劑，從而保證了清潔的真空環(huán)境。泵的結(jié)構(gòu)采用多級轉(zhuǎn)子竄連的形式，每組轉(zhuǎn)子分別位于不同泵腔做同步反方向運動。泵腔被爪型轉(zhuǎn)子分隔為吸氣腔和排氣腔兩部分。隨著轉(zhuǎn)子連續(xù)運轉(zhuǎn)，進行循環(huán)的吸氣排氣過程，實現(xiàn)了泵連續(xù)抽氣的目的。

上圖為羅茨轉(zhuǎn)子由0°到360°的抽氣過程。在0°位置時（圖a），進排氣道關(guān)閉，吸氣腔與排氣腔溝通，泵腔內(nèi)壓力均衡相等。當兩個轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)到50°時（圖b），形成負壓腔，進氣道打開，正壓腔壓力逐漸提高。工作過程中，此位置是轉(zhuǎn)子正好處于換向泵腔壓力平衡的瞬間，轉(zhuǎn)子從該位置再轉(zhuǎn)過一定角度，則轉(zhuǎn)子開始密封分割為吸氣腔與壓縮排氣腔兩部分，此時開始做功。此位置進氣口打開，隨著轉(zhuǎn)子的繼續(xù)旋轉(zhuǎn)負壓腔容積逐漸增大開始吸氣，排氣腔容積逐漸減小，由于排氣口尚未打開，因此氣體被壓縮，壓縮量隨排氣口上線位置的變化而變化。當轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)到155°時，此時負壓腔繼續(xù)進氣，排氣道打開，開始排氣。此位置時泵的吸氣做功繼續(xù)進行，排氣口開始打開，被壓縮的氣體快速排入下一級泵腔。當轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)到312°時，進排氣口關(guān)閉。此位置轉(zhuǎn)子做功以完成一個周期，此時泵腔內(nèi)壓力逐漸恢復(fù)均衡狀態(tài)。（圖d）此位置又回到初始位置，隨著泵轉(zhuǎn)子的連續(xù)旋轉(zhuǎn)，吸氣和排氣過程循環(huán)進行，實現(xiàn)了泵的連續(xù)抽氣做功，實現(xiàn)了抽真空的目的。轉(zhuǎn)子沒轉(zhuǎn)一周，吸氣和排氣各進行一次。

　　1) 泵腔內(nèi)不含油類等任何介質(zhì)、清潔抽空，對環(huán)境無污染；

　　2) 真空度高，可達3Pa；

　　3) 結(jié)構(gòu)簡單，易于操作和維護，運行成本低；

　　4) 能在較高壓力下長期連續(xù)工作，噪聲��；

　　5) 能抽除腐蝕性氣體、有毒氣體、易燃易爆氣體、放射性氣體、含有塵埃 的氣體和可凝性氣體（例如水蒸氣、有機氣體等）；

　　6) 能做氣體傳輸泵使用，壓縮比良好，可達10-105；

　　7) 轉(zhuǎn)子對懸浮在泵腔內(nèi)，轉(zhuǎn)子對間，轉(zhuǎn)子與泵腔間不接觸，無摩擦，使用 壽命長。

石化行業(yè)：

　�。�1）能抽除酸性氣體:如四氫呋喃等。（2）能抽除可凝性氣體：如酒精、汽油等。（3）能抽除易燃易爆氣體：如氧氣、氫氣、甲烷等。（4）防腐系列能抽除強酸性氣體：如氯化氫氣體、氟化氫氣體、硫酸氣體等。

醫(yī)藥行業(yè)：

　　結(jié)晶、蒸餾、升華、干燥、脫臭、聚合、真空蒸發(fā)、負壓過濾、單體回收、吸附/脫附、物料輸送腐、蝕性介質(zhì)、環(huán)氧乙烷消毒等。

食品行業(yè)：

升華、干燥、脫水、真空蒸發(fā)、真空保鮮、真空包裝等。

科研院所：

旋蒸、蒸餾、精餾、聚合、負壓抽濾、真空干燥、中試裝置、風(fēng)洞試驗、真空環(huán)境模擬等。

電子光伏：浸漬、真空鍍膜、離子刻蝕、分子束外延等。

航天航空：釬焊、真空鍍膜、電子束焊、風(fēng)洞試驗、空間環(huán)境模擬等。

冶金行業(yè)：浸漬、擠出、真空鍍膜、離子刻蝕、泥料脫氣、鋼水脫氣、分子束外延等。

核工業(yè)：零泄露爪泵可抽除UF6氣體

其它行業(yè)：中央空調(diào)、室內(nèi)真空、污水處理、鋰電池制造等。

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